一种微型机电式调制元件，包括：可弹性变位地被支撑且在双向变位的可动部(27)，且可动部(27)为具有调制功能的微型机电式调制元件(100)，其特征在于，包括多个向可动部(27)施加物理作用力的驱动源，在通过所述驱动源使可动部(27)在第1方向变位驱动时，在可动部(27)在上述第1方向迁移期间，借助于上述驱动源相对于可动部(27)在与上述第1方向不同的第2方向上施加可对可动部振动进行抑制的物理作用力。从而提供一种能够有效减少可动部振动的微型机电式调制元件和微型机电式调制元件阵列以及图像形成装置，且可以实现切换动作的高速化。