图像检查装置
专利权的终止
摘要
一种图像检查装置。在图像检查装置中，即使被检查体的种类或制造工序等发生变化，也能够将自动聚焦的对焦位置校正为恰当的位置，可提高检查效率。为进行自动聚焦，从对焦位置检测部(102)通过颜色校正单元(103)、物镜(11)，将检测光(70)照射到基板(1)上，通过由光检测器(36)检测该反射光的位置，而检测出第1目标对焦位置。另一方面，在存储于存储部(3)中的明细中，存储有使第1目标对焦位置偏移的偏移值。并且，根据偏移值而移动颜色校正透镜组(31)的位置，设定到第2目标对焦位置，朝着该处驱动试样移动台(17)。
基本信息
专利标题 ：
图像检查装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1800836A
申请号 ：
CN200510135032.3
公开（公告）日 ：
2006-07-12
申请日 ：
2005-12-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
仓田俊辅小室孝广
申请人 ：
奥林巴斯株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
李辉
优先权 ：
CN200510135032.3
主分类号 ：
G01N21/956
IPC分类号 ：
G01N21/956 G01N21/958
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
G01N21/956
检测物品表面上的图案
法律状态
2021-12-03 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G01N 21/956
申请日 : 20051221
授权公告日 : 20091216
终止日期 : 20201221
申请日 : 20051221
授权公告日 : 20091216
终止日期 : 20201221
2009-12-16 ：
授权
2007-09-05 ：
实质审查的生效
2006-07-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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