检查装置、检查系统、检查方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及涉及检查装置、检查系统、检查方法，其目的是提高检查装置的通用性。检查装置(100)包括：投影装置(200)，其根据与检查对象物对应、且用来确定照射到上述检查对象物上的光的图案的图案图像数据，对上述检查对象物照射光；摄像装置(300)，其拍摄受到所述投影装置照射光的所述检查对象物，并输出拍摄的图像数据。
基本信息
专利标题 ：
检查装置、检查系统、检查方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114280057A
申请号 ：
CN202111090026.6
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2021-09-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
岸秀信日野真
申请人 ：
株式会社理光
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
安之斐
优先权 ：
CN202111090026.6
主分类号 ：
G01N21/88
IPC分类号 ：
G01N21/88 G01N21/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2022-04-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/88
申请日 : 20210916
申请日 : 20210916
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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