基板检查装置、基板检查方法、检查条件管理系统及部件安装系...
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摘要
本发明提供基板检查装置、基板检查方法、检查条件管理系统及部件安装系统，可以在确保较高的生产性的同时提高产品基板的可靠性。安装检查装置(4)，通过照相机拍摄进行了安装处理的基板，并根据其图像数据检查安装处理是否良好，其中具有：判断部(612)，根据图像数据判断处理是否良好；存储部(613)，存储与检查时序相关的参数及与检查等级相关的参数；设定单元，可根据该存储单元中存储的参数设定检查时序等的键盘(68)等；和主控制部(611)，控制照相机等，以根据所设定的检查时序及检查等级实施检查。所述设定单元构成为可设定多个检查时序，且可对应各个设定时序单独设定检查等级。
基本信息
专利标题 ：
基板检查装置、基板检查方法、检查条件管理系统及部件安装系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1815250A
申请号 ：
CN200610004711.1
公开（公告）日 ：
2006-08-09
申请日 ：
2006-01-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
中村昭彦铃木芳邦
申请人 ：
雅马哈发动机株式会社
申请人地址 ：
日本静冈县
代理机构 ：
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
陆弋
优先权 ：
CN200610004711.1
主分类号 ：
G01R31/00
IPC分类号 ：
G01R31/00 H01L21/66
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/00
电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置；在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L21/66；线路传输系统的测试入H04B3/46）
法律状态
2010-08-25 ：
授权
2008-01-30 ：
实质审查的生效
2006-08-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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