基板生产管理装置及基板生产管理方法

授权

摘要

本发明提供一种对基板生产线(2)进行管理的基板生产管理装置(1)，该基板生产管理装置(1)具备：初次通知部(51)，当在基板生产线中产生了需要进行应对作业的原因事件时，向通知对象通知包括原因事件的内容和应对作业的内容中的至少一方的通知信息；及升级通知部(52)，在产生了原因事件之后即使经过了预定时间(T1)原因事件也未被消除的情况下，使通知对象和应对作业的内容中的至少一方升级并通知通知信息。由此，由于当经过了预定时间时，以有利于消除原因事件的方式使通知对象升级并进行通知或者使应对作业的内容升级并进行通知，因此与再次通知产生了原因事件的以往技术相比，能够进行有效的通知，能够有助于尽早消除需要进行应对作业的原因事件。

基本信息

专利标题：

基板生产管理装置及基板生产管理方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN109478054A

申请号：

CN201680087873.8

公开（公告）日：

2019-03-15

申请日：

2016-07-27

授权号：

CN109478054B

授权日：

2022-05-13

发明人：

加藤大辅森田幸寿

申请人：

株式会社富士

申请人地址：

日本爱知县知立市

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司

代理人：

穆德骏

优先权：

CN201680087873.8

主分类号：

G05B19/418

IPC分类号：

G05B19/418 G05B23/02 G06Q50/04