基板粘贴装置、基板粘贴判断方法及基板粘贴方法
专利权的终止
摘要

在真空环境下,粘贴对象的基板(31)、(32)放出气体、起到降低室(1)内真空度的作用。在框状地涂抹的密封剂(6)将上下基板(31)、(32)恰当地粘贴时,由于从密封剂(6)包围的基板面放出的气体因为不在室内扩散,所以室(1)内压力急剧降低,进行变化以实现高真空化。于是,本发明设置有检测室(1)内的真空度的传感器(压力检测器)(12),控制器(7)捕捉室(1)内压力急剧变化的拐点(P),且检测密封剂(6)在整个区域内与二块基板(31)、(32)恰当地粘贴的情况。因而,通过简单的构成,能省却粘贴时的上基板(31)无用的推压降下,并能缩短粘贴工序的生产节拍间隔时间。

基本信息
专利标题 :
基板粘贴装置、基板粘贴判断方法及基板粘贴方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1811544A
申请号 :
CN200610002266.5
公开(公告)日 :
2006-08-02
申请日 :
2006-01-27
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
高桥崇史牧野勉
申请人 :
芝浦机械电子装置股份有限公司
申请人地址 :
日本神奈川县
代理机构 :
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 :
熊志诚
优先权 :
CN200610002266.5
主分类号 :
G02F1/1333
IPC分类号 :
G02F1/1333  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02F
用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置,例如转换、选通、调制或解调,上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的;用于上述操作的技术或工艺;变频;非线性光学;光学逻辑元件;光学模拟/数字转换器
G02F1/00
控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置,例如,转换、选通或调制;非线性光学
G02F1/01
对强度、相位、偏振或颜色的控制
G02F1/13
基于液晶的,例如单位液晶显示单元
G02F1/133
构造上的设备;液晶单元的工作;电路装置
G02F1/1333
构造上的设备
法律状态
2013-03-27 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101423718130
IPC(主分类) : G02F 1/1333
专利号 : ZL2006100022665
申请日 : 20060127
授权公告日 : 20081105
终止日期 : 20120127
2008-11-05 :
授权
2006-09-27 :
实质审查的生效
2006-08-02 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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