基板处理装置以及基板处理方法

专利权的终止

摘要

本发明提供一种基板处理装置，其能够在确保充分的清洗功能的同时正确地搬运基板，而且基板清洗机构的制作容易。在搬运辊所支承的基板(B)的主面上，使清洗刷部(221、222)的毛束(50)的前端(50H)成为从该毛束(50)延伸的方向沿基板(B)的主面而向一个方向弯曲的状态，而使该前端(50H)与基板(B)的主面滑动接触。在该姿势下，前端(50H)与基板(B)的表面滑动接触的同时，该清洗刷部(221)沿与基板搬运方向垂直并与基板表面平行的方向往复移动，从而清洗搬运中的基板表面。

基本信息

专利标题：

基板处理装置以及基板处理方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1814357A

申请号：

CN200510128972.X

公开（公告）日：

2006-08-09

申请日：

2005-12-02

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

山本悟史

申请人：

大日本网目版制造株式会社

申请人地址：

日本京都府

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司

代理人：

高龙鑫

优先权：

CN200510128972.X

主分类号：

B08B1/02

IPC分类号：

B08B1/02 G02F1/1333 H01L21/48 H05K3/00 H05K3/26

IPC结构图谱

B部——作业；运输

B08

清洁

B08B

一般清洁；一般污垢的防除

B08B1/00

利用工具，刷子或类似工具的清洁方法

B08B1/02

运动中工件的清洁，如在传送装置上的成卷织物或物品

法律状态

2016-01-20 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101643312560
IPC(主分类) : B08B 1/02
专利号 : ZL200510128972X
申请日 : 20051202
授权公告日 : 20100616
终止日期 : 20141202

2015-04-01 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101713108829
IPC(主分类) : B08B 1/02
专利号 : ZL200510128972X
变更事项 : 专利权人
变更前 : 大日本网目版制造株式会社
变更后 : 大日本网屏制造株式会社
变更事项 : 地址
变更前 : 日本京都府
变更后 : 日本京都府

2015-04-01 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101713108830
IPC(主分类) : B08B 1/02
专利号 : ZL200510128972X
变更事项 : 专利权人
变更前 : 大日本网屏制造株式会社
变更后 : 斯克林集团公司
变更事项 : 地址
变更前 : 日本京都府
变更后 : 日本京都府

2010-06-16 ：

授权

2006-10-04 ：

实质审查的生效

2006-08-09 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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