基板检查装置的基板支架和基板检查装置
专利权的终止
摘要
本发明提供一种基板检查装置的基板支架和基板检查装置。基板检查装置具有保持基板(W)的基板支架(6)。在基板支架(6)中，从安装于多关节自动装置(8)的基部(7)使多个支撑臂部(10)平行且等间隔地延伸设置，从而整体成为梳齿状。在各支撑臂部(10)的上表面(10a)上配设有用于吸附保持基板(W)的吸附部(12)。另外，横档(15)分别安装于支撑臂部(10)的基端部(11a)侧和前端部(11b)侧，在外侧的支撑臂部(10)的外侧面上安装有支撑横档(17)，通过这些横档(15、17)能够保持基板(W)的侧缘。
基本信息
专利标题 ：
基板检查装置的基板支架和基板检查装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101027547A
申请号 ：
CN200580032201.9
公开（公告）日 ：
2007-08-29
申请日 ：
2005-09-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
冈平裕幸
申请人 ：
奥林巴斯株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
党晓林
优先权 ：
CN200580032201.9
主分类号 ：
G01N21/84
IPC分类号 ：
G01N21/84 G01M11/00 G02F1/13 B65G49/06
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
法律状态
2014-11-12 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101588385810
IPC(主分类) : G01N 21/84
专利号 : ZL2005800322019
申请日 : 20050926
授权公告日 : 20110202
终止日期 : 20130926
号牌文件序号 : 101588385810
IPC(主分类) : G01N 21/84
专利号 : ZL2005800322019
申请日 : 20050926
授权公告日 : 20110202
终止日期 : 20130926
2011-02-02 ：
授权
2007-10-24 ：
实质审查的生效
2007-08-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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