基板检查装置及其检查逻辑设定方法和检查逻辑设定装置
专利权的终止
摘要
基板检查装置及其检查逻辑设定方法和检查逻辑设定装置。本发明的课题是提供一种可以由较少的样本图像而生成在基板检查装置中的基板检查中使用的检查逻辑的技术。作为解决手段,信息处理装置在生成新部件的检查逻辑时,取得所述新部件的拍摄图像;根据所述新部件的拍摄图像而算出表示关注区域的颜色分布趋势的颜色分布趋势数据;分别针对多种过去部件取得颜色分布趋势数据,通过比较与所述新部件相关的颜色分布趋势数据和与所述过去部件相关的颜色分布趋势数据,来选出颜色分布趋势类似的过去部件,从存储装置中读出所选出的过去部件的拍摄图像,并将所述新部件的拍摄图像和所述过去部件的拍摄图像作为训练数据,来生成所述新部件的检查逻辑。
基本信息
专利标题 :
基板检查装置及其检查逻辑设定方法和检查逻辑设定装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1834630A
申请号 :
CN200610057056.6
公开(公告)日 :
2006-09-20
申请日 :
2006-03-17
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
片畑隆敏和田洋贵森谷俊洋清水敦仲岛晶
申请人 :
欧姆龙株式会社
申请人地址 :
日本京都府
代理机构 :
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 :
黄纶伟
优先权 :
CN200610057056.6
主分类号 :
G01N21/956
IPC分类号 :
G01N21/956 G01R31/30 G05B19/418 G06F17/00 G06T7/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
G01N21/956
检测物品表面上的图案
法律状态
2017-05-03 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101717237040
IPC(主分类) : G01N 21/956
专利号 : ZL2006100570566
申请日 : 20060317
授权公告日 : 20100120
终止日期 : 20160317
号牌文件序号 : 101717237040
IPC(主分类) : G01N 21/956
专利号 : ZL2006100570566
申请日 : 20060317
授权公告日 : 20100120
终止日期 : 20160317
2010-01-20 :
授权
2007-01-24 :
发明专利申请公布说明书更正
更正卷 : 22
号 : 38
页码 : 扉页
更正项目 : 优先权
误 : 缺少优先权第二条
正 : 2006.02.21 JP 2006-044312
号 : 38
页码 : 扉页
更正项目 : 优先权
误 : 缺少优先权第二条
正 : 2006.02.21 JP 2006-044312
2006-11-22 :
实质审查的生效
2006-09-20 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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