基板检查装置及其检查逻辑设定方法和检查逻辑设定装置

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

基板检查装置及其检查逻辑设定方法和检查逻辑设定装置。本发明的课题是提供可自动生成基板检查中所使用的检查逻辑的技术。作为解决手段，检查逻辑设定装置取得多个第一图像与多个第二图像，所述多个第一图像是对通过检查应该被检测出的部件进行拍摄而得到的，所述多个第二图像是对通过检查应该被排除的部件进行拍摄而得到的，将所述多个第一图像以及所述多个第二图像中的各个图像分割为多个块，针对所述每个块计算所述多个第一图像和所述多个第二图像之间的颜色距离，从所述多个块中选择一个或一个以上颜色距离相对大的块，将选择出的块设定为所述区域条件。

基本信息

专利标题：

基板检查装置及其检查逻辑设定方法和检查逻辑设定装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1979137A

申请号：

CN200610001104.X

公开（公告）日：

2007-06-13

申请日：

2006-01-11

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

森谷俊洋和田洋贵大西贵子清水敦仲岛晶

申请人：

欧姆龙株式会社

申请人地址：

日本京都府

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

黄纶伟

优先权：

CN200610001104.X

主分类号：

G01N21/956

IPC分类号：

G01N21/956 G01R31/30 G01B11/24 G06T7/00 H05K13/08