基板检查装置
授权
摘要
本实用新型的实施例的基板检查装置可以包括：工作台，支承具有曲面的基板；相机，与支承于工作台的基板相对布置，并构成为拍摄基板表面；相机旋转单元，使相机以使相机与基板的曲面的任意一个位置相对的方式旋转；以及相机驱动单元，使相机以使相机与一个位置靠近或远离的方式移动。
基本信息
专利标题 ：
基板检查装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922078255.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-27
授权号 ：
CN211669102U
授权日 ：
2020-10-13
发明人 ：
张喜童朴智雄
申请人 ：
塔工程有限公司
申请人地址 ：
韩国庆尚北道
代理机构 ：
北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
许伟群
优先权 ：
CN201922078255.0
主分类号 ：
G01N21/95
IPC分类号 ：
G01N21/95 G01N21/01
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
法律状态
2020-10-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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