基板搬运装置及检查装置
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种能够适当地维持基板的高度位置和姿势的基板搬运装置及检查装置。在检查装置(100)中，在基板搬运装置(200)中，由分别沿着显示面板(1)的搬运方向(X)及宽度方向(Y)配置的多个支承辊(50)的辊面(501)支承被保持在保持架(20)上的显示面板(1)，通过包括直线驱动机构(61)的搬运机构(60)使显示面板(1)在多个支承辊(50)上行进。另外，多个支承辊(50)由辊面(501)为树脂制的树脂滚柱轴承构成。因此，与用辊式输送机搬运显示面板的情况不同，在搬运显示面板(1)时，显示面板(1)不易振动。因此，能够抑制显示面板(1)从支承辊(50)局部浮起。
基本信息
专利标题 ：
基板搬运装置及检查装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114496869A
申请号 ：
CN202111232567.8
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2021-10-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
赤羽贤俊吉田昇悟佐藤史朗
申请人 ：
日本电产三协株式会社
申请人地址 ：
日本长野县
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
沈捷
优先权 ：
CN202111232567.8
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 G01N21/95 G01N21/01
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/677
申请日 : 20211022
申请日 : 20211022
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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