基板搬运系统及基板搬运系统的控制方法

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摘要

本发明提供一种基板搬运系统及基板搬运系统的控制方法，该基板搬运系统能够将从线盒搬出的玻璃基板供给到各个位置，或者从各个位置收集搬入线盒的玻璃基板。该基板搬运系统(1)具备：用于从线盒(3)搬出玻璃基板(2)的第一基板搬运装置(4)；具有装载玻璃基板的手(33)的基板搬运机器人(5)；在第一基板搬运装置和基板搬运机器人之间搬运玻璃基板的第二基板搬运装置(6)，第一基板搬运装置、第二基板搬运装置以及基板搬运机器人在X方向上按该顺序配置。基板搬运机器人具备：连接手(33)的臂(34)；使臂(34)伸缩的臂驱动机构；使臂(34)升降的臂升降机构；以上下方向为转动的轴方向使臂(34)转动的转动机构。

基本信息

专利标题：

基板搬运系统及基板搬运系统的控制方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111547508A

申请号：

CN202010080599.X

公开（公告）日：

2020-08-18

申请日：

2020-02-05

授权号：

CN111547508B

授权日：

2022-05-10

发明人：

唐木征二近藤仁竹村大希

申请人：

日本电产三协株式会社

申请人地址：

日本长野县

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

沈捷

优先权：

CN202010080599.X

主分类号：

B65G49/06

IPC分类号：

B65G49/06