基板检测装置及其控制方法
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摘要
本发明涉及一种基板检测装置及其控制方法，依据本发明所提供的基板检测装置包含：用于检测所述基板的检测单元；设置在所述检测单元入口区域并具有多个供应台架和供应驱动部的供应单元，该多个供应台架支持至少一个所述基板而向所述检测单元依次供应所述基板，该供应驱动部对应于所述检测单元的入口侧而移动多个所述供应台架；设置在所述检测单元出口区域并具有多个排出台架和排出驱动部的排出单元，该多个排出台架支持从所述检测单元依次排出的至少一个所述基板，该排出驱动部对应所述检测单元的出口侧而移动多个所述排出台架。由此提供可以较迅速、简单地检测基板的基板检测装置及其控制方法。
基本信息
专利标题 ：
基板检测装置及其控制方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1908685A
申请号 ：
CN200610007929.2
公开（公告）日 ：
2007-02-07
申请日 ：
2006-02-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李秀浩安德烈·尤莎科夫任洵圭闵敬善郑敬锡
申请人 ：
三星电子株式会社
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人 ：
韩明星
优先权 ：
CN200610007929.2
主分类号 ：
G01R31/00
IPC分类号 ：
G01R31/00 G01R31/28 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/00
电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置；在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L21/66；线路传输系统的测试入H04B3/46）
法律状态
2009-12-16 ：
授权
2007-04-04 ：
实质审查的生效
2007-02-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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