本实用新型一种基板检测装置，包含有一检测平台，检测平台具有一工作平面，工作平面可用以承载一基板，检测平台的周缘设有至少一检测单元与至少一定位单元，检测单元与定位单元皆可同步相对工作平面沿一第一方向与一第二方向移动，其中第一方向与第二方向分别平行工作平面，且第一方向与第二方向相互垂直，而检测单元亦可相对工作平面沿一第三方向移动，第三方向则分别垂直工作平面、第一方向与第二方向；通过此，本实用新型的基板检测装置可透过检测单元与定位单元沿第一方向与第二方向的移动而快速地完成定位的动作，用以方便进行后续的检测作业。