本实用新型实施例所述的基板检测装置包括：设置在基板检测区域内来检测基板表面的基板检测单元；以基板检测区域为基准，位于基板的移送方向的上游侧的第一夹具模块；以及以基板检测区域为基准，位于基板的移送方向的下游侧的第二夹具模块，其中，第一检测模块以把持以与基板的后行端相邻的方式存在或在基板的后行端存在的基板的第一部分的状态进行移动，由此使以与基板的先行端相邻的方式存在或在基板的后行端存在的基板的第二部分通过基板检测区域，在第二部分通过基板检测区域后，第一部分被解除，在第一夹具模块解除第一部分之前或者解除的同时，第二夹具模块以把持第二部分的状态进行移动，来使第一部分通过基板检测区域。