基板检测装置及基板检测方法
授权
摘要
本发明提供一种基板检测装置及基板检测方法。控制部(27)及信号切换部(26)经过测定对象的多个电路图形(41、42)而形成电压测定回路。控制部(27)在校正电压测定工序，对测定对象的任一电路图形(41、42)都不供应电流的状态下，由电压测定部(19)测定热电动势(V0)。控制部(27)在电路图形测定工序，对测定对象的任一电路图形(41、42)供应电流的状态下，由电压测定部(19)测定电压降。而且控制部(27)在校正工序，将所述电路图形测定工序中测定的电压降使用在校正电压测定工序中测定的热电动势(V0)值来校正。并且控制部(27)对测定对象的多个电路图形(41、42)分别执行电路图形测定工序及校正工序。
基本信息
专利标题 ：
基板检测装置及基板检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110794290A
申请号 ：
CN201911179851.6
公开（公告）日 ：
2020-02-14
申请日 ：
2014-04-24
授权号 ：
CN110794290B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
山下宗宽
申请人 ：
日本电产理德股份有限公司
申请人地址 ：
日本国京都府京都市右京区西京极堤外町10番地
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
齐秀凤
优先权 ：
CN201911179851.6
主分类号 ：
G01R31/28
IPC分类号 ：
G01R31/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/28
•电路的测试，例如用信号故障寻测器
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2020-03-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 31/28
申请日 : 20140424
申请日 : 20140424
2020-02-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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