基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法
实质审查的生效
摘要
基板搬运机器人(20)具备：基台(21)，其设置于搬运室(1)内；机械臂(23)，其具有在水平面内转动的多个连杆(24～26)，并与基台连结；第一机械手(31)和第二机械手(32)，它们与机械臂的前端部连结为能够绕铅垂的机械手轴(LH)旋转，并对基板(90)进行支承；以及控制装置(40)。控制装置执行如下处理，即：第一移载处理，使第一机械手从搬运室进入收容室内，在收容室内的载置部与第一机械手之间移载基板；退出处理，使第一机械手从收容室向搬运室退出；以及第二移载处理，使第二机械手从搬运室进入收容室内，在载置部与第二机械手之间移载基板。在退出处理中，机械手轴相对于第一机械手的基准位置(P31)而从开口(15)的中心线(C15)离开。
基本信息
专利标题 ：
基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114269666A
申请号 ：
CN202080058629.5
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2020-08-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
松冈淳一仓田伊织在田智一
申请人 ：
川崎重工业株式会社;川崎机器人（美国）有限公司
申请人地址 ：
日本兵库县
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
胡乃锐
优先权 ：
CN202080058629.5
主分类号 ：
B65G47/90
IPC分类号 ：
B65G47/90 B25J11/00 B25J18/00 B25J19/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
B65G47/90
捡取或放下物件或物料的装置
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B65G 47/90
申请日 : 20200804
申请日 : 20200804
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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