基板搬运装置、基板搬运方法以及曝光装置

发明专利申请公布后的驳回

摘要

本发明涉及一种标度线等的基板搬送用的基板搬运装置，基板搬运方法以及曝光装置。所述基板搬运装置包括：一可动台，其可在水平方向中移动且具有卡盘，此卡盘在向下方向中具有一种可吸附基板的吸附面；一升降装置，其具备一种升降桌，此升降桌可定位在该可动台的移动范围内且较该可动台更下方的位置中；以及一搬送装置，其具备一种搬送臂，以使基板被搬送至该升降装置中。本发明基板搬运装置和方法可使基板确实吸附在标度线的下面，且因此可得到可靠性高的曝光装置。

基本信息

专利标题：

基板搬运装置、基板搬运方法以及曝光装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101006572A

申请号：

CN200580027762.X

公开（公告）日：

2007-07-25

申请日：

2005-11-11

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

田中庆一

申请人：

株式会社尼康

申请人地址：

日本东京

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

左一平

优先权：

CN200580027762.X

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677 H01L21/027