基板运送装置、基板运送方法以及曝光装置

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

本发明公开了一种用于对形成有图案的基板进行运送的基板运送装置、基板运送方法以及具有基板运送装置的曝光装置，其目的是在基板使用时能够轻松、确实地防止保护罩的内面受到污染。此基板运送装置为将形成有图案的基板进行运送的基板运送装置，并在不使用前述基板时将前述基板在利用保护罩进行保护的状态下进行运送的基板运送装置，其中，具有当使用前述基板时覆盖前述保护罩的内面的罩壳保护装置。

基本信息

专利标题：

基板运送装置、基板运送方法以及曝光装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101006573A

申请号：

CN200580027964.4

公开（公告）日：

2007-07-25

申请日：

2005-10-21

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

平柳德行

申请人：

株式会社尼康

申请人地址：

日本东京

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

陈亮

优先权：

CN200580027964.4

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677 H01L21/673