装载基板的运送车

专利权的终止

摘要

一种装载基板的运送车，适于将多个基板运送至一等离子清洁室，用以清洁这些基板的表面。等离子清洁室具有多个平行排列的电极板。装载基板的运送车包括一框架模块以及多个绝缘夹具。框架模块具有彼此相对的一上框架与一下框架。绝缘夹具配置于框架模块上，并分别固定于上框架与下框架，用以夹持这些基板，并分别电性绝缘于这些基板与这些电极板之间。

基本信息

专利标题：

装载基板的运送车

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820125477.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-07-08

授权号：

CN201264621Y

授权日：

2009-07-01

发明人：

陈侹叡

申请人：

欣兴电子股份有限公司

申请人地址：

中国台湾桃园县

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

魏晓刚

优先权：

CN200820125477.2

主分类号：

B62B3/10

IPC分类号：

B62B3/10

IPC结构图谱

B部——作业；运输

B62

无轨陆用车辆

B62B

手动车辆，例如手推车或摇篮车；雪橇

B62B3/00

有一个以上带运输轮的车轴的手推车；其所用转向装置；所用设备

B62B3/10

以专门适用于一定形状物体的支架为特点的

法律状态

2014-08-27 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101586569801
IPC(主分类) : B62B 3/10
专利号 : ZL2008201254772
申请日 : 20080708
授权公告日 : 20090701
终止日期 : 20130708

2009-07-01 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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