标线保护构件、标线运送装置、曝光装置及标线运送方法

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

本发明提供一种标线运送装置，即使在设置有保护十字构件的保护构件的情况下，当运送标线并在曝光装置上安装时，也可安装在适当的位置。位置测定装置29对标线1的下面上所形成的位置测定用标志26的位置进行测定，由此对标线1的位置进行测定。位置测定装置30对下盖2b的下面上所形成的位置测定用标志27的位置进行测定，并利用它们测定下盖2b的位置。如知道标线1的位置和下盖2b的位置，则可知标线1和下盖2b的相对位置偏离。由此，当利用运送装置运送搭载了标线1的下盖2b，并在曝光装置上进行设置时，借由考虑该偏离而决定下盖2b的停止位置，可将标线1在曝光装置上正确地进行设置。

基本信息

专利标题：

标线保护构件、标线运送装置、曝光装置及标线运送方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101006554A

申请号：

CN200580027994.5

公开（公告）日：

2007-07-25

申请日：

2005-10-24

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

铃木素子大久保至晴

申请人：

株式会社尼康

申请人地址：

日本东京

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人：

寿宁

优先权：

CN200580027994.5

主分类号：

H01L21/027

IPC分类号：

H01L21/027 G03F9/00 G03F1/14 H01L21/673