照明光学装置、曝光装置和曝光方法
授权
摘要
本发明提供一种可以实现所需的环形照明或圆形照明等而实质上不受来自衍射光学元件的0次光的影响的照明光学装置。该照明光学装置具备：用于将来自光源(1)的光束转换为规定的光强度分布的光束的衍射光学元件(3)；配置于衍射光学元件与被照射面(M)之间的光路中、基于来自衍射光学元件的光束在照明光瞳面上形成实质上的面光源的光学积分器(8)；配置于衍射光学元件与光学积分器之间的光路中、用于改变实质上的面光源的大小及形状的整形光学系统(4、6、7)；以及在整型光学系统的光路中配置于与衍射光学元件实质上具有傅立叶变换关系的位置、用于阻止来自衍射光学元件的0次光沿着照明光路行进的阻止机构。
基本信息
专利标题 ：
照明光学装置、曝光装置和曝光方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101006556A
申请号 ：
CN200580028180.3
公开（公告）日 ：
2007-07-25
申请日 ：
2005-10-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
重松幸二
申请人 ：
株式会社尼康
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
雒运朴
优先权 ：
CN200580028180.3
主分类号 ：
H01L21/027
IPC分类号 ：
H01L21/027 G02B13/24
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02
半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21/027
未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜
法律状态
2009-09-02 ：
授权
2007-10-03 ：
实质审查的生效
2007-07-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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