照明光学装置的调整方法、照明光学装置、曝光装置以及曝光方...
专利权的终止
摘要
本发明提供一种实质上不受作为波长板发挥机能的光学构件的制造误差的影响，而以所需的偏光状态的光对被照射面进行照明的照明光学装置。该照明光学装置为基于来自光源(1)的光，对被照射面(M，W)进行照明的照明光学装置。该照明光学装置具有被配置在照明瞳面或其附近，用于将入射光的偏光状态转换为特定的偏光状态的偏光转换元件(12)。偏光转换元件具有用于对入射的直线偏光可变地赋予旋光角度的多个可变旋光构件。各可变旋光构件由具有旋光性的光学材料形成，且具有沿与光轴(AX)交差的方向可相对移动的2个偏角棱镜。
基本信息
专利标题 ：
照明光学装置的调整方法、照明光学装置、曝光装置以及曝光方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101164142A
申请号 ：
CN200680000686.8
公开（公告）日 ：
2008-04-16
申请日 ：
2006-01-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
谷津修广田弘之重松幸二栗田信一
申请人 ：
株式会社尼康
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
左一平
优先权 ：
CN200680000686.8
主分类号 ：
H01L21/027
IPC分类号 ：
H01L21/027 G03F7/20
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02
半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21/027
未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜
法律状态
2022-01-04 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G02B 26/06
申请日 : 20060118
授权公告日 : 20100519
终止日期 : 20210118
申请日 : 20060118
授权公告日 : 20100519
终止日期 : 20210118
2010-05-19 ：
授权
2008-06-11 ：
实质审查的生效
2008-04-16 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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