照明装置、曝光装置及微元件的制造方法
专利权的无效宣告
摘要
一种照明装置，是以光源(2)所射出的照明光来照明被照射面，具备：反射型复眼光学系统(12、14)，配置于光源(2)与被照射面(M)间，且由用以将光源(2)的光束进行波面分割后叠合于被照射面(M)上的复数个部分反射型光学系统所构成；以及反射型光学系统(10)，配置于光源(2)与反射型复眼光学系统(12、14)间，用以将照明光往反射型复眼光学系统(12、14)导引；反射型光学系统(10)，该光学系统的反射面至少一部分是由扩散面所构成。
基本信息
专利标题 ：
照明装置、曝光装置及微元件的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1985356A
申请号 ：
CN200580023679.5
公开（公告）日 ：
2007-06-20
申请日 ：
2005-09-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
小松田秀基
申请人 ：
尼康股份有限公司
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨俊波
优先权 ：
CN200580023679.5
主分类号 ：
H01L21/027
IPC分类号 ：
H01L21/027 G02B27/14 G02B17/00 G02B27/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02
半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21/027
未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜
法律状态
2013-02-27 ：
专利权的无效宣告
专利权全部无效号牌文件类型代码 : 1609
号牌文件序号 : 101401717588
IPC(主分类) : H01L 21/027
专利号 : ZL2005800236795
授权公告日 : 20090114
无效宣告决定日 : 20120329
无效宣告决定号 : 18312
号牌文件序号 : 101401717588
IPC(主分类) : H01L 21/027
专利号 : ZL2005800236795
授权公告日 : 20090114
无效宣告决定日 : 20120329
无效宣告决定号 : 18312
2009-01-14 ：
授权
2007-08-15 ：
实质审查的生效
2007-06-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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