光学积分器、照明光学装置、曝光装置以及曝光方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明提供一种可以任意地设定入射面与射出面的间隔，而不会导致像差的产生或反射膜的反射率降低的波阵面分割型的光学积分器。其具备：并列配置的多个第一聚光元件(第一凹面反射镜元件(18a))；与这些多个第一聚光元件对应地并列配置的多个第二聚光元件(第二凹面反射镜元件(20a))；在多个第一聚光元件与多个第二聚光元件之间的光路中配置的中继光学系统(19)。中继光学系统将通过多个第一聚光元件的一个而聚光的光再次聚光在对应的第二聚光元件上或其附近，使得多个第一聚光元件的一个与多个第二聚光元件的一个具有分别一对一对应的成像关系。
基本信息
专利标题 ：
光学积分器、照明光学装置、曝光装置以及曝光方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101069267A
申请号 ：
CN200680001307.7
公开（公告）日 ：
2007-11-07
申请日 ：
2006-01-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
小松田秀基
申请人 ：
株式会社尼康
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
雒运朴
优先权 ：
CN200680001307.7
主分类号 ：
H01L21/027
IPC分类号 ：
H01L21/027 G02B17/00 G02B13/24 G03F7/20
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02
半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21/027
未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜
法律状态
2009-12-16 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-01-02 ：
实质审查的生效
2007-11-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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