光学装置、镜筒、曝光装置、以及器件制造方法

专利权的视为放弃

摘要

一种提高了重量平衡和稳定性的光学装置(92)，包括将假想刚体(M )相对外环(48)可移动地进行支承的驱动机构(46A～46C)，该假想刚体(M)由内环(42)、和相对光轴(AX)呈非对称形状的光学元件(M2)、以及用于保持光学元件而固定在内环上的光学元件保持构件(44A～44C)构成。内环、外环、以及驱动机构作为平行连杆机构(41)发挥作用。配重(BW、M2c)被设置在假想刚体上，以便使假想刚体的重量能大致均等地施加在驱动机构上。因此，在受外部的振动时或进行调整时，光学元件不易振动。本发明的光学装置可适用于对曝光精度要求较高的曝光装置的使用中。

基本信息

专利标题：

光学装置、镜筒、曝光装置、以及器件制造方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101048690A

申请号：

CN200580036490.X

公开（公告）日：

2007-10-03

申请日：

2005-10-24

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

石川光男

申请人：

株式会社尼康

申请人地址：

日本东京都

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

雒运朴

优先权：

CN200580036490.X

主分类号：

G02B7/02

IPC分类号：

G02B7/02 H01L21/027