曝光装置、曝光方法、以及物品制造方法
公开
摘要
本发明公开了曝光装置、曝光方法、以及物品制造方法。控制单元基于在第一定时由检测系统检测的照明光的第一分布和在第一定时之后的第二定时由检测系统检测的照明光的第二分布、在第二定时之后的第三定时控制在投影系统的光轴方向上的相对位置和在垂直于光轴方向的方向上的相对位置，在第一定时和第二定时检测的照明光已穿过第一标记和第二标记。
基本信息
专利标题 ：
曝光装置、曝光方法、以及物品制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114442445A
申请号 ：
CN202111285535.4
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2021-11-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
赤松昭郎
申请人 ：
佳能株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国贸促会专利商标事务所有限公司
代理人 ：
张劲松
优先权 ：
CN202111285535.4
主分类号 ：
G03F9/00
IPC分类号 ：
G03F9/00 G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F9/00
原版、蒙片、片框、照片、图纹表面的对准或定位，例如自动地
法律状态
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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