曝光方法、曝光设备、以及制造物品的方法
授权
摘要
本发明提供一种在扫描由台保持的原版的同时经由所述原版曝光基板的曝光方法，其包括：执行在使得最大加速度变成第一加速度的状态下扫描驱动所述台的第一步骤；以及在执行所述第一步骤之后，执行在曝光所述基板的同时在使得所述最大加速度变成第二加速度的状态下扫描驱动所述台的第二步骤，其中，所述第一加速度低于所述第二加速度。本发明还提供了一种曝光设备和提供物品的方法。
基本信息
专利标题 ：
曝光方法、曝光设备、以及制造物品的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110609449A
申请号 ：
CN201910513151.X
公开（公告）日 ：
2019-12-24
申请日 ：
2019-06-14
授权号 ：
CN110609449B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
淡路川智纪星野勇人樱川宽大
申请人 ：
佳能株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
白皎
优先权 ：
CN201910513151.X
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2020-07-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20190614
申请日 : 20190614
2019-12-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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