信息处理装置、检查方法、存储介质、曝光装置、确定方法和物...
公开
摘要
本公开涉及信息处理装置、检查方法、存储介质、曝光装置、确定方法和物品制造方法。一种被配置为检查基板的显影状态的信息处理装置，包括检查单元，该检查单元被配置为将显影的第二基板的捕获图像输入到学习模型以获取检查数据，该检查数据包括指示第二基板的第二显影状态的信息。学习模型是通过使用学习数据进行学习而获得的，学习数据包括显影的第一基板的捕获图像和指示第一基板的第一显影状态的信息。
基本信息
专利标题 ：
信息处理装置、检查方法、存储介质、曝光装置、确定方法和物品制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114326318A
申请号 ：
CN202111118738.4
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-09-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
猪瀬满
申请人 ：
佳能株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国贸促会专利商标事务所有限公司
代理人 ：
汪晶晶
优先权 ：
CN202111118738.4
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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