外观检查装置及外观检查方法

专利权的终止

摘要

外观检查装置及外观检查方法。本发明的课题是提供能够识别因光源或光学元件等的不良因素造成的伪缺陷和基板本身的真缺陷的外观检查装置、及使用该装置的外观检查方法。作为解决手段，本发明的外观检查装置(1)通过观察照射到基板(6)的表面(6a)上的照明光的反射光进行基板(6)的检查，使光源(2)、以及使从光源(2)射出的光的方向偏转的第2反射镜(3)和第1反射镜(4)、或会聚偏转后的光的会聚透镜(5)等的光学元件中的至少一方周期性地或随机地摆动、或弯曲，来改变光轴或焦点位置，由此使由于照明光学系统的不良因素而在基板(6)上出现的伪缺陷摆动，从而识别伪缺陷和基板(6)本身所产生的真缺陷。

基本信息

专利标题：

外观检查装置及外观检查方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1828280A

申请号：

CN200610057689.7

公开（公告）日：

2006-09-06

申请日：

2006-02-24

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

冈平裕幸

申请人：

奥林巴斯株式会社

申请人地址：

日本东京

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

黄纶伟

优先权：

CN200610057689.7

主分类号：

G01N21/88

IPC分类号：

G01N21/88