被检查体的外观检查装置

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摘要

本发明揭示一种被检查体的外观检查装置，其目的在于在被检查体的外观检查上能构成扩展性好灵活的系统，另外，缩短基板等被检查体的检查时间，并提高检查精度。在基板(2)的外观检查装置(200)上，多台从属PC(140)和对基板(2)进行摄像的多个摄像单元(30)分别与所述多个摄像单元(30)的每一个对应设置，根据对应的摄像单元(30)摄得的基板(2)的摄像数据对基板(2)进行检查。该多台从属PC(140)的每一台对其它的从属PC(140)发送利用这些其它的从属PC(140)进行检查所需的公用数据。公用数据从由各从属PC(140)对应的摄像单元(30)拍摄的基板(2)的摄像数据中取得。从属PC(140)参照从各个其它的从属PC(140)接到的公用数据对基板(2)作外观检查。

基本信息

专利标题：

被检查体的外观检查装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1987347A

申请号：

CN200510003383.9

公开（公告）日：

2007-06-27

申请日：

2005-12-23

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

秋山吉宏杨勇秋山咲惠

申请人：

株式会社先机

申请人地址：

日本东京

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

沈昭坤

优先权：

CN200510003383.9

主分类号：

G01B11/24

IPC分类号：

G01B11/24