被检查体的外观检查装置

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摘要

本发明揭示一种被检查体的外观检查装置，其目的在于缩短基板等被检查体的检查时间。在基板(2)的外观检查装置上，第1摄像单元(30a)及第2摄像单元(30b)通过与基板(2)作相对运动，从而对基板(2)的一面进行扫描。第3摄像单元(30c)及第4摄像单元(30d)配置成夹着基板(2)与第1摄像单元(30a)及第2摄像单元(30b)对向，通过与基板(2)作相对运动，从而对基板(2)的另一面进行扫描。基板输送电动机(58)使摄像单元(30)的各单元与基板(2)相对移动。在基板输送电动机(58)使摄像单元(30)的各个单元与基板(2)相对移动的一次的移动工序中，摄像单元(30)的各个单元完成对基板(2)的扫描。

基本信息

专利标题：

被检查体的外观检查装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1808058A

申请号：

CN200510003553.3

公开（公告）日：

2006-07-26

申请日：

2005-12-23

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

秋山吉宏

申请人：

株式会社先机

申请人地址：

日本东京

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

沈昭坤

优先权：

CN200510003553.3

主分类号：

G01B11/24

IPC分类号：

G01B11/24