外观检查装置以及外观检查方法

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

本发明提供一种外观检查装置以及外观检查方法，载物台部(21)形成有装载具有柔性的薄板状的被检查物体的载物台面，并将所装载的被检查物体的一侧主面和载物台面贴紧并保持着。摄像机(31)拍摄被贴紧并保持在载物台面上的被检查物体。X轴方向驱动机构(35)、Y轴方向驱动机构(23)、以及Z轴方向驱动机构(36)，使载物台面以及摄像机(31)中的至少一方向各个方向相对移动。控制部(4)根据载物台面的多个位置上的位移数据，使摄像机(31)和载物台面之间保持为等距离，同时控制X轴方向驱动机构(35)、Y轴方向驱动机构(23)、以及Z轴方向驱动机构(36)。

基本信息

专利标题：

外观检查装置以及外观检查方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1825099A

申请号：

CN200510120263.7

公开（公告）日：

2006-08-30

申请日：

2005-11-09

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

赤木佑司万代一郎小堀由高加藤知孝

申请人：

大日本网目版制造株式会社

申请人地址：

日本京都府

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司

代理人：

高龙鑫

优先权：

CN200510120263.7

主分类号：

G01N21/956

IPC分类号：

G01N21/956 H05K3/00