外观检查装置和外观检查装置用输送部
专利权的终止
摘要
提供一种部件数量少、制造成本低、结构紧凑并且设置面积小的外观检查装置和外观检查装置用输送部。在本发明的外观检查装置(100)中，在于旋转载物台(103)上旋转的水平旋转输送部(101)的两端配置检查对象物，通过使构成水平旋转输送部(101)的臂(120、121)正反反转180度，可以有效进行移动、反转及测定时的三维移动，能够削减输送所需要的载物台和输送部的数量。并且，由于以旋转载物台(103)为中心在其周边配置二维刻印面检查功能、二维下表面测定(GBA型半导体装置等电子部件的情况下为球面，QFP型半导体装置等电子部件的情况下导线下表面)检查功能，所以能够实现整体紧凑的设置面积。
基本信息
专利标题 ：
外观检查装置和外观检查装置用输送部
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1800775A
申请号 ：
CN200510127094.X
公开（公告）日 ：
2006-07-12
申请日 ：
2005-11-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
今川丰佐佐木义浩
申请人 ：
新光工程技术股份有限公司;恩益禧电子股份有限公司
申请人地址 ：
日本新潟县
代理机构 ：
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
钟强
优先权 ：
CN200510127094.X
主分类号 ：
G01B11/00
IPC分类号 ：
G01B11/00 G01B11/02 H01L21/00 H01L21/677
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2015-01-14 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101595905414
IPC(主分类) : G01B 11/00
专利号 : ZL200510127094X
申请日 : 20051130
授权公告日 : 20090722
终止日期 : 20131130
号牌文件序号 : 101595905414
IPC(主分类) : G01B 11/00
专利号 : ZL200510127094X
申请日 : 20051130
授权公告日 : 20090722
终止日期 : 20131130
2010-12-22 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101056393172
IPC(主分类) : G01B 11/00
专利号 : ZL200510127094X
变更事项 : 专利权人
变更前 : 恩益禧电子股份有限公司
变更后 : 瑞萨电子株式会社
变更事项 : 地址
变更前 : 日本神奈川
变更后 : 日本神奈川
号牌文件序号 : 101056393172
IPC(主分类) : G01B 11/00
专利号 : ZL200510127094X
变更事项 : 专利权人
变更前 : 恩益禧电子股份有限公司
变更后 : 瑞萨电子株式会社
变更事项 : 地址
变更前 : 日本神奈川
变更后 : 日本神奈川
2009-09-09 ：
专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)
变更事项 : 专利权人
变更后权利人 : 恩益禧电子股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 日本新潟县
变更后权利人 : 日本神奈川
登记生效日 : 20090731
变更前权利人 : 新光工程技术股份有限公司
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 恩益禧电子股份有限公司
变更后权利人 : 无
变更后权利人 : 恩益禧电子股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 日本新潟县
变更后权利人 : 日本神奈川
登记生效日 : 20090731
变更前权利人 : 新光工程技术股份有限公司
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 恩益禧电子股份有限公司
变更后权利人 : 无
2009-07-22 ：
授权
2006-09-06 ：
实质审查的生效
2006-07-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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