检查装置及检查方法

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

检查装置及检查方法。本发明的课题是提供可以对应于不良出现的状况变化，进行适当的检查的检查方法。作为解决手段，本发明的检查装置用于执行异常判断，即根据基于从良品中得到的正常数据的模型进行异常判断，具有基于参量判别模型进行良否判断的功能、以及基于非参量判别模型进行良否判断的功能。在可取得的样本数据不够、或者特征空间中的良品的分布形状不稳定、从而正常区域的形状的估计精度不够的阶段中，执行基于双方的判别模型的判断，根据两者的判断结果来进行最终的良否判断。在可取得的样本数据足够、良品的分布或正常区域的形状稳定的状态下，仅基于参量判别模型的判断来执行判断。

基本信息

专利标题：

检查装置及检查方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1834607A

申请号：

CN200610057425.1

公开（公告）日：

2006-09-20

申请日：

2006-03-15

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

糀谷和人清水敦田崎博

申请人：

欧姆龙株式会社

申请人地址：

日本京都府

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

黄纶伟

优先权：

CN200610057425.1

主分类号：

G01M19/00

IPC分类号：

G01M19/00 G01H17/00