宏观检查装置和宏观检查方法

专利权的终止

摘要

一种宏观检查装置，其具有：基板保持器，其保持接受检查的基板；宏观照明光学系统，其将照明光照射到所述基板上；基板保持器驱动机构，其支承所述基板保持器，同时，在所述基板被所述照明光照射的状态下，控制所述基板保持器的姿态；基板搬送机构，其在与所述基板保持器之间进行所述基板的交接；基板浮起机构，其通过对交接在所述基板保持器上的所述基板进行空气的喷出，使该基板从所述基板保持器上浮起；基板定位机构，其使通过该基板浮起机构而处于浮起状态的所述基板定位在所述基板保持器上的基准位置；以及基板固定机构，其将由该基板定位机构定位后的所述基板固定在所述基板保持器上。

基本信息

专利标题：

宏观检查装置和宏观检查方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1906476A

申请号：

CN200580001591.3

公开（公告）日：

2007-01-31

申请日：

2005-09-26

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

冈平裕幸藤崎畅夫加藤洋

申请人：

奥林巴斯株式会社

申请人地址：

日本东京

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

党晓林

优先权：

CN200580001591.3

主分类号：

G01N21/84

IPC分类号：

G01N21/84 G02F1/13 G01M11/00