光学积分器、照明光学装置、曝光装置、方法及元件制法
专利权的无效宣告
摘要
本发明涉及一种具有下述特性的光学积分器，即，将一对光学构件的相对位置决定误差对照明度分布或照明范围的形状的影响抑制为较小。本发明的光学积分器是自光入射侧依次具备第1光学构件(8a)及第2光学构件(8b)的波阵面分裂型光学积分器(8)。第1光学构件具备在第1方向(Z方向)上具有折射力、且在第2方向(X方向)上无折射力的多个第1入射面(8aa)，以及在第1方向上具有折射力、且在第2方向上无折射力的多个第1出射面(8ab)。第2光学构件具备在第2方向上具有折射力、且在1方向上无折射力的多个第2入射面(8ba)，以及在第2方向上具有折射力、且在第1方向上无折射力的多个第2出射面(8bb)。
基本信息
专利标题 ：
光学积分器、照明光学装置、曝光装置、方法及元件制法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101006553A
申请号 ：
CN200580027963.X
公开（公告）日 ：
2007-07-25
申请日 ：
2005-12-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
北尚宪
申请人 ：
株式会社尼康
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
陈亮
优先权 ：
CN200580027963.X
主分类号 ：
H01L21/027
IPC分类号 ：
H01L21/027 G03F7/20 G02B19/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02
半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21/027
未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜
法律状态
2012-09-26 ：
专利权的无效宣告
专利权全部无效号牌文件类型代码 : 1609
号牌文件序号 : 101329411399
IPC(主分类) : G02B 27/09
专利号 : ZL200580027963X
授权公告日 : 20090729
无效宣告决定日 : 20111230
无效宣告决定号 : 17862
号牌文件序号 : 101329411399
IPC(主分类) : G02B 27/09
专利号 : ZL200580027963X
授权公告日 : 20090729
无效宣告决定日 : 20111230
无效宣告决定号 : 17862
2009-07-29 ：
授权
2008-01-23 ：
实质审查的生效
2007-07-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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