接近式曝光装置用照明装置、LED单元、接近式曝光装置及接...
公开
摘要
提供一种能够独立地使用水银灯和LED这两者作为光源部的照明装置。该照明装置具备：以水银灯(31)为光源的第一光源部(30)；使来自该第一光源部(30)的光均匀地射出的复眼透镜(46)；分别反射来自第一光源部(30)的光的多个反射镜(40、41、50、51)；以及LED单元(60)，具有将多个LED元件(62)作为光源的第二光源部(61)和移动机构(70)，该移动机构(70)使该第二光源部(61)在位于第一光源部(30)的光路EL上的工作位置AP与远离第一光源部(30)的光路EL的退避位置WP之间移动。
基本信息
专利标题 ：
接近式曝光装置用照明装置、LED单元、接近式曝光装置及接近式曝光装置的曝光方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114556221A
申请号 ：
CN202080071438.2
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2020-09-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
松坂昌明山口洋一松下智恒结城大悟
申请人 ：
株式会社V技术
申请人地址 ：
日本神奈川
代理机构 ：
北京奉思知识产权代理有限公司
代理人 ：
邹轶鲛
优先权 ：
CN202080071438.2
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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