本实用新型提供一种光学偏振装置以及包括其的曝光装置。所述光学偏振装置包括用于容纳冷却流体的冷却室和偏振组件，所述偏振组件设置在所述冷却室内，其中，所述偏振组件的用于接收待偏振的光的面朝向所述冷却室的第一侧，所述冷却室的所述第一侧设置有开口或者所述冷却室的所述第一侧具有能透射光的第一壁。所述曝光装置包括这样的光学偏振装置及用于发出待偏振的光的光源。利用本实用新型的技术方案，可以在装置工作期间经由冷却流体对来自光源发出的光的热辐射进行吸收和/或从偏振组件吸收热以对偏振组件进行冷却，从而减少或避免偏振组件所包括的偏振元件因经受过多的热而被损坏的可能。