搬运系统、基板处理装置以及搬运方法

专利权的终止

摘要

在本发明中，搬运系统(1)铺设了通过被设置在各处理装置(10)、(100)、(200)前面侧的载置台(11)等的下方、由覆盖体(5)覆盖的搬运路径。由于将搬运路径的位置设在下方，载置台(11)等的占有区域和搬运路径所涉及的区域的一部分被共享，从而节省了空间，并提高从处理装置(10)、(100)等的前方的访问性，实现了容易进行维护的布局。载置台(11)等的载置面(11d)等设置成已有的高架搬运系统和地面搬运系统的无人搬运车(3)的可载置的高度，确保和其他搬运系统的共存性。

基本信息

专利标题：

搬运系统、基板处理装置以及搬运方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101048327A

申请号：

CN200580036730.6

公开（公告）日：

2007-10-03

申请日：

2005-10-25

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

浅川辉雄

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本东京都

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

代理人：

柳春雷

优先权：

CN200580036730.6

主分类号：

B65G47/46

IPC分类号：

B65G47/46 B65G49/07 B65G47/88 H01L21/677