检查治具以及基板检查装置
授权
摘要
本发明包括活动平板8，在检查侧支撑体5的相向平板51，形成有用以插通探针Pr的前端部的探针插通孔16，在电极侧支撑体6的支撑平板61，设置有使探针Pr的后端部插通而进行支撑的探针支撑孔23，在活动平板8，设置有用以使探针Pr贯通的探针贯通孔18，检查治具4包括能够切换容许状态与约束状态的定位孔19及接收孔20，所述容许状态是使活动平板8能够沿与平坦面X平行的容许方向移动的状态，所述约束状态是以探针贯通孔18的中心相对于探针支撑孔23的中心沿容许方向偏离规定的偏离量La的方式设置活动平板8的状态。
基本信息
专利标题 ：
检查治具以及基板检查装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110573889A
申请号 ：
CN201880027222.9
公开（公告）日 ：
2019-12-13
申请日 ：
2018-04-16
授权号 ：
CN110573889B
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
长沼正树高桥学加藤靖典
申请人 ：
日本电产理德股份有限公司;风琴针株式会社
申请人地址 ：
日本京都府京都市右京区西京极堤外町10番地(邮递区号:615-0854)
代理机构 ：
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 ：
罗英
优先权 ：
CN201880027222.9
主分类号 ：
G01R1/06
IPC分类号 ：
G01R1/06 G01R1/067 G01R1/073 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线；测量探针
法律状态
2022-04-05 ：
授权
2019-12-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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