基板支架及包括该支架的基板支撑装置
授权
摘要
公开了一种基板支架及包括该支架的基板支撑装置。根据一个实施例的基板支架可包括：旋转部，其以旋转轴为中心旋转；支撑部，其以包裹在所述旋转部的圆周方向上的外面的形式连接于所述旋转部，通过外面支撑基板的边缘；第一紧固连接部，其形成于所述旋转部的外面；第二紧固连接部，其形成于与所述旋转部接触的所述支撑部的接触面，与所述第一紧固连接部紧固连接。
基本信息
专利标题 ：
基板支架及包括该支架的基板支撑装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021080631.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-12
授权号 ：
CN212062414U
授权日 ：
2020-12-01
发明人 ：
申寅澈金贤五
申请人 ：
凯斯科技股份有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道安城市
代理机构 ：
北京冠和权律师事务所
代理人 ：
朱健
优先权 ：
CN202021080631.6
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2020-12-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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