检查结构的方法以及检查系统

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摘要

在一种检查结构的方法中，接收由第一激光束从目标结构中生成的第一超声信号。通过向所述目标结构提供从第一激发单元生成的所述第一激光束来生成所述第一超声信号。接收由不同于第一激光束的第二激光束从所述目标结构生成的第二超声信号。通过向所述目标结构提供从第二激发单元生成的所述第二激光束来生成所述第二超声信号。接收第三超声信号，所述第三超声信号通过所述第一激光束和所述第二激光束从该目标结构生成。通过将所述第一激光束和所述第二激光束同时提供至所述目标结构来生成所述第三超声信号。基于第一超声频谱、第二超声频谱、和第三超声频谱来确定所述目标结构是否被损坏，所述第一超声频谱、所述第二超声频谱、和所述第三超声频谱是通过分别转换所述第一超声信号、所述第二超声信号、所述第三超声信号所获得的。

基本信息

专利标题：

检查结构的方法以及检查系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN110672717A

申请号：

CN201910595014.5

公开（公告）日：

2020-01-10

申请日：

2019-07-03

授权号：

CN110672717B

授权日：

2022-05-17

发明人：

孙勋刘沛沛张振豪

申请人：

韩国科学技术院

申请人地址：

韩国大田市儒城区大学路291

代理机构：

上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

余文娟

优先权：

CN201910595014.5

主分类号：

G01N29/04

IPC分类号：

G01N29/04 G01N29/24 G01N29/44