微小结构体的检查装置、检查方法、以及检查程序
专利权的视为放弃
摘要
本发明提供一种微小结构体的检查装置、检查方法、以及检查程序。扬声器部(2)包括多个声源，从各个声源输出声波。通过从扬声器部(2)输出的为疏密波的声波的到达、即空气振动，使作为检测芯片(TP)的微小结构体的三轴加速度传感器的可动部分动作。根据经由探针(4)而给出的输出电压来测量随着该动作而发生改变的电阻值的变化。控制部(20)根据测量出的特性值、即测量数据来判断三轴加速度传感器的特性。另外，对于多个声源的间隔，通过根据至三轴加速度传感器的可动部分的距离差和测试声波的波长将声源的间隔设定为规定值，可以按照被合成的声波的合成声场变为最大的方式向可动部分施加作为合成波的测试声波。
基本信息
专利标题 ：
微小结构体的检查装置、检查方法、以及检查程序
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101133320A
申请号 ：
CN200680007010.1
公开（公告）日 ：
2008-02-27
申请日 ：
2006-03-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
松本俊行池内直树八壁正巳圆城寺启一林圣人
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
柳春雷
优先权 ：
CN200680007010.1
主分类号 ：
G01N29/00
IPC分类号 ：
G01N29/00 G01P21/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N29/00
利用超声波、声波或次声波来测试或分析材料；靠发射超声波或声波通过物体得到物体内部的显像
法律状态
2012-01-25 ：
专利权的视为放弃
号牌文件类型代码 : 1606
号牌文件序号 : 101175710205
IPC(主分类) : G01N 29/00
专利申请号 : 2006800070101
放弃生效日 : 20080227
号牌文件序号 : 101175710205
IPC(主分类) : G01N 29/00
专利申请号 : 2006800070101
放弃生效日 : 20080227
2008-04-23 ：
实质审查的生效
2008-02-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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