检查基板处理装置的方法和存储用于执行该方法的检查程序的存...
授权
摘要
一种检查基板处理装置的方法，其能够防止将产品基板提供到要被检查的基板处理室，并在希望的时间检查基板处理室。根据操作者选择菜单选项“QC模式”，或者响应来自主机的指令，禁止产品晶片W(产品基板)被输送到要被检查的处理单元(基板处理室)。响应存储在连接到相关联的装载口24的载体中的晶片是QC晶片这个事实的通知，允许将QC晶片从连接到相关联的装载口24的载体输送到要被检查的处理单元。
基本信息
专利标题 ：
检查基板处理装置的方法和存储用于执行该方法的检查程序的存储介质
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1808693A
申请号 ：
CN200510132644.7
公开（公告）日 ：
2006-07-26
申请日 ：
2005-12-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
沼仓雅博
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 ：
龙淳
优先权 ：
CN200510132644.7
主分类号 ：
H01L21/00
IPC分类号 ：
H01L21/00 H01L21/02 H01L21/67 G05B15/02 G05B19/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2008-06-25 ：
授权
2006-09-20 ：
实质审查的生效
2006-07-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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