本发明提供一种能够有效降低因含水的液体的处理引起的基板的带电量的基板处理方法。该方法包含：水供给工序，在通过基板保持旋转机构将基板保持为大致水平并使其以第一旋转速度旋转的状态下，向上述基板供给含水的液体；除电工序，在该水供给工序之后，在通过上述基板保持旋转机构将上述基板保持为大致水平并使其以比上述第一旋转速度低的第二旋转速度旋转、或者停止基板的旋转的状态下，在上述基板的表面保持规定的液体的液膜，并且以规定时间进行对该液膜不进行液体的供给的浸泡处理，从而对上述基板进行除电。