本发明提供一种对基板进行处理的基板处理装置以及基板处理方法。在将由曝光装置进行曝光处理前的基板从基板载置部向曝光装置搬送时，使用接口用搬送机构上侧的手部。另外，在将由曝光装置进行曝光处理后的基板从曝光装置向基板载置部搬送时，使用接口用搬送机构下侧的手部。即，在附着了曝光处理后的液体的基板的搬送中，使用下侧的手部；在曝光处理前的没有附着液体的基板的搬送中，使用上侧的手部。