挥发性的金属β－酮亚胺盐和金属β－二亚胺盐的配合物
专利申请权、专利权的转移
摘要
本发明提供了一种金属酮亚胺盐或二亚胺盐配合物以及其制备和使用方法，其中所述配合物含有铜、银、金、钴、钌、铑、铂、钯、镍、锇或铟。在有些实施方案中，所述金属配合物可用作前体来通过例如原子层沉积或化学气相沉积条件在基体上沉积金属和含金属的膜。
基本信息
专利标题 ：
挥发性的金属β－酮亚胺盐和金属β－二亚胺盐的配合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1990491A
申请号 ：
CN200510135796.2
公开（公告）日 ：
2007-07-04
申请日 ：
2005-12-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
J·A·T·诺曼
申请人 ：
气体产品与化学公司
申请人地址 ：
美国宾夕法尼亚州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
韦欣华
优先权 ：
CN200510135796.2
主分类号 ：
C07F1/08
IPC分类号 ：
C07F1/08 C07F1/10 C07F1/12 C07F15/00 C07F15/06 C07F15/04 C07F5/00 C23C16/18
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C07
有机化学
C07F
含除碳、氢、卤素、氧、氮、硫、硒或碲以外的其他元素的无环，碳环或杂环化合物
C07F1/00
含周期表第1或11族元素的化合物
C07F1/08
铜化合物
法律状态
2017-07-11 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101754996984
IPC(主分类) : C07F 1/08
专利号 : ZL2005101357962
登记生效日 : 20170621
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 气体产品与化学公司
变更后权利人 : 弗萨姆材料美国有限责任公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国宾夕法尼亚州
变更后权利人 : 美国亚利桑那州
号牌文件序号 : 101754996984
IPC(主分类) : C07F 1/08
专利号 : ZL2005101357962
登记生效日 : 20170621
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 气体产品与化学公司
变更后权利人 : 弗萨姆材料美国有限责任公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国宾夕法尼亚州
变更后权利人 : 美国亚利桑那州
2013-10-16 ：
授权
2007-08-29 ：
实质审查的生效
2007-07-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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