挥发性金属β-酮亚胺盐配合物
发明专利申请公布后的驳回
摘要

本发明涉及挥发性金属β-酮亚胺盐配合物。本文描述了含有铜、银、金、钴、钌、铑、铂、钯、镍、锇和/或铟的金属配合物,其制备及使用方法。在某些实施方案中,本文所述的金属配合物可以用作在基材上沉积金属或含金属的膜的前体,例如,通过原子层沉积或化学气相沉积方法沉积。

基本信息
专利标题 :
挥发性金属β-酮亚胺盐配合物
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101186615A
申请号 :
CN200710169694.1
公开(公告)日 :
2008-05-28
申请日 :
2005-12-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
J·A·T·诺曼
申请人 :
气体产品与化学公司
申请人地址 :
美国宾夕法尼亚州
代理机构 :
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 :
韦欣华
优先权 :
CN200710169694.1
主分类号 :
C07F1/08
IPC分类号 :
C07F1/08  C07F1/10  C07F1/12  C07F15/06  C07F15/00  C07F15/04  C07F5/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C07
有机化学
C07F
含除碳、氢、卤素、氧、氮、硫、硒或碲以外的其他元素的无环,碳环或杂环化合物
C07F1/00
含周期表第1或11族元素的化合物
C07F1/08
铜化合物
法律状态
2012-10-03 :
发明专利申请公布后的驳回
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101454534090
IPC(主分类) : C07F 1/08
专利申请号 : 2007101696941
申请公布日 : 20080528
2008-07-23 :
实质审查的生效
2008-05-28 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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